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体积表面电阻率测试仪
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四探针方阻电阻率测定仪硅片电阻率测量的标准(ASTM F84)及国标设计制造;GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.
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